Vakuum tizimlari klapanlarga o'ziga xos talablar qo'yadi va vakuum tizimlaridagi klapanlar: turlari, oqish tezligi va tanlash bo'yicha qo'llanma qo'llaniladigan turlar, oqish tezligi, materiallar va tanlash qoidalarini tushuntiradi. Ushbu qo'llanma vakuum rejimlari, vana oilalari, muhrlanish va muhim sinovlarni o'z ichiga oladi.
Vakuum klapanlari ichki atmosfera oqishiga qarshi muhrlanadi.
Oqish tezligi Pa.m3/s da ifodalanadi, metall muhrlangan UHV klapanlar uchun 10-9 gacha.
Darvoza, burchak, kelebek va to'p turlari turli xil vakuum sxemalariga xizmat qiladi.
Juda yuqori vakuum uchun-pishirish mumkin bo'lgan metall muhrlar kerak.
Geliy oqish testi belgilangan oqish tezligini tasdiqlaydi.
Vana uchun vakuum xizmati nima talab qiladi
Vakuum xizmatida oqish yo'nalishi ichkariga kiradi: atmosfera havosi tizimga har qanday nuqson orqali kirib, jarayonni ifloslantiradi. Shuning uchun vakuum klapan tashqaridan atmosfera bosimiga qarshi muhrlanishi kerak, bu esa qattiq muhrlar, past gaz chiqarish materiallari va toza qurilishni talab qiladi. Vana, shuningdek, asta-sekin havo chiqaradigan hajmlarni ushlab turmasligi kerak va tizim talab qilgan joyda omon qolishi kerak.
Vakuum rejimlari va vana vazifasi
Qo'pol vakuum (taxminan 1 Pa gacha), yuqori vakuum (10-4 Pa gacha) va ultra{5}}yuqori vakuum (10-7 Pa dan past) vanaga juda boshqacha talablar qo'yadi. Qo'pol va yuqori vakuumli tizimlar odatda yumshoq-yopiq vanalardan foydalanadi; o'ta yuqori vakuum juda kam gaz chiqarishga ega bo'lgan metall muhrlangan, pishiriladigan klapanlarni talab qiladi. Kerakli oqish tezligi va pishirish harorati vana dizaynini belgilaydi.
Vakuum uchun vana turlari
Darvoza klapanlari katta vakuum teshiklari uchun ish kuchi bo'lib, ochiq holatda to'liq o'tkazuvchanlikni beradi; burchakli vanalar va toʻgʻri burchakli valflar-ixcham oʻrnatishlarga mos keladi; kapalak va shar klapanlar pastki vakuum vazifasida ishlatiladi. Avtomatlashtirish uchun pnevmatik va elektromagnit ishga tushirish, xizmat ko'rsatish klapanlari uchun esa qo'lda yoki qo'l{2}}g'ildiragi bilan ishlash keng tarqalgan. Har bir turdagi yumshoq yoki metall muhrlar mavjud.
Oqish tezligi va muhrlanish
Oqish tezligi Pa.m3/s yoki mbar.l/s (va tarixan atm.cc/s) da ifodalanadi. Odatiy yumshoq{5}}muhrlangan vakuumli klapan oqish tezligini 10-6 Pa.m3/s dan pastroq ushlab turadi, UHV uchun metall-yopiq klapanlar esa 10-9 Pa.m3/s dan pastroq. Muhrlar o'rtacha vakuum uchun FKM floroelastomer yoki boshqa kam gaz chiqaradigan elastomerlarning O-halqalari va pishiriladigan UHV xizmati uchun mis yoki boshqa metall muhrlardir. Oqish tezligi geliy qochqinning sinovi bilan tasdiqlangan.
Materiallar va pishirish qobiliyati
Vakuum klapanlari zanglamaydigan po'latdan yasalgan bo'lib, past gaz chiqaradigan qoplamalar mavjud va elastomer qistirmalari pishirish haroratini cheklaydi: FKM floroelastomeri taxminan 150-200 daraja haroratda, metall muhrlangan konstruktsiyalar UHV uchun-300 daraja va undan yuqori haroratda pishadi. Flanjlar ISO 1609 (KF/ISO-K), UHV uchun CF metall muhrlangan gardishlar va kattaroq o'lchamlar uchun ANSI naqshlariga mos keladi. Materiallar va tugatish erishish mumkin bo'lgan asosiy bosimni aniqlaydi.
Tanlov qoidalari
Vakuum rejimi, teshik o'lchami, oqish tezligi talabi, pishirilishi va ishga tushirilishi bo'yicha valfni tanlang. Ochiq holatda zarur bo'lgan o'tkazuvchanlikni, Pa.m3/s da ruxsat etilgan oqish tezligini, gardish standartini va atmosfera tomonidagi bosimni ayting. Jarayonli vakuum uchun muhit mosligi va harorat ham qo'llaniladi.
Tez-tez so'raladigan savollar
Vakuum rejimi va kerakli qochqin tezligi bilan tanlangan yumshoq yoki metall qistirmalari bo'lgan eshik, burchak, kelebek va balli klapanlar.
Yumshoq{0}}yopiq klapanlar odatda 10-6 Pa.m3/s dan past; metall muhrlangan UHV klapanlari 10-9 Pa.m3 / s dan past bo'ladi, bu geliy qochqinligini tekshirish bilan tasdiqlangan.
Tizimni pishirish vaqtida 150{1}}300 darajagacha qizdirishga bardosh beradigan vana, buning uchun metall qistirmalari va ultra yuqori vakuum uchun-kam gaz chiqaradigan materiallar talab qilinadi.
Eshik valfi maksimal o'tkazuvchanlik uchun to'liq teshikni ochadi; burchak valfi oqimni 90 gradusga aylantiradi va ixcham sxemalarga mos keladi.
Vakuum xizmati uchun ISO 1609 KF va ISO-K, UHV uchun CF metall- muhrlangan gardishlar va kattaroq o'lchamlar uchun ANSI gardishlari.
Vakuum ostida yopiq klapan bilan geliy oqishini aniqlash, geliy signalini belgilangan oqish tezligiga nisbatan o'lchash.