Vakuum eshigi valfi vakuumda yoki salbiy bosimli tizimlarda maxsus ishlatiladigan maxsus eshik valve. Uning asosiy dizay dizayni ultra yuqori muhrlash va kam joylashishni kuchaytiradi. Ish tamoyillari va xususiyatlari quyidagicha:
1. Core ta'rifi
Funktsional joylashish
Ultra-yuqori toza muhitda va vakuum bo'shlig'ini ekish va ifloslanishining ichki materialidan yuzaga keladigan va ichki materialdan 1 × 10 gacha bo'lgan holda ishlatiladi.
Muhrlash standart
Oqilona stavka 1 × 10 × 10 × 102 Pa · M / s dan kam yoki teng bo'lgan (geliy shishish standartlari), bu oddiy sanoat klapanlaridan ancha yuqori.
2. Asosiy tarkibiy xususiyatlar
Muhrlash tizimi
Barcha metall quyruqlarni qabul qilish (an'anaviy to'ldirish qutini) valfi, valfi harakati natijasida yuzaga kelmaslik uchun.
Darvoza va vaqonlik o'rindig'i orasidagi kontakt yuzasi oyna pardasi (0,2 mmmm) va oltin misli qotishmali halqasi molekulyar darajadagi obligatsiyalarga erishish uchun ishlatiladi.
Moddiy materiallar
Valvli tana 316l ultra bilan uglerodli zanglamaydigan po'latdan yasalgan va sirt maydoni elektrolitik pardasial (kamayadigan gaz vakili) tomonidan kamayadi.
Qo'ng'iroqlar Xastelloy C-276-dan iborat bo'lib, 100,000 vakuumning chegarasi o'zgaruvchan yuklarga qaraganda ko'proq yoki unga teng ravishda bardosh berishi mumkin.
Maxsus dizayn
Valve bo'shlig'i yordamchi egzoz porti (KF16 flane interfeysi), ochish va yopishdan oldin bosimning farqini evakuatsiya qilish va muvozanatlash uchun jihozlangan.
Quyi haroratli turdagi azot sovutish ko'ylagi bilan jihozlangan suyuqlik sovutish ko'ylagi bilan jihozlangan.
3. Ish rejimi
Ochish jarayoni
Avval live bo'shlig'ini tizim sifatida evakuatsiya qilish uchun yordamchi vakuum nasosini tizim sifatida bir xil vakuumga evaziga boshlash (havo oqimi buzilishi oldini olish uchun).
Oqim kanallari to'liq ochilganda, oqimlar oqimining ikki baravar ko'payishi uchun eshikni olib tashlaydi va oqim kanali to'liq ochilganda 0,95 dan katta yoki unga teng.
Yopish jarayoni
Darvoza tushganda, chegara tugmachasini avtomatik ravishda ishga tushiriladi va valf bo'shlig'idagi qoldiq gaz tugaganini ta'minlash uchun ikkilamchi chiqindi.
Kontaktni muhrlash sirti tizimning salbiy bosimiga ko'ra o'zini siqib chiqaradigan ta'sir ko'rsatadi. Bosimning farqi katta, muhrni mahkamlaydi.
4. Odatiy dastur stsenariylari
Ilmiy tadqiqot vositalari
Zarra vositachisining tezlatgichini almashtirish vositasi vakuumi (yadro tadqiqotlari uchun Evropa tashkiloti kabi). Sinxrotron nurlanish manbai uchun unulatulyator vakuuum himoyasi valfi.
Sanoat uskunalari
Reaktsiya Xodimlari yarimo'tkazgichni qoplash mashinasi uchun in'ektsiya boshqarmasi.
Kosmik kema termal termal test palatasi uchun favqulodda izolyatsiya klapan.
Maxsus sohasi
Yadro sinishi moslamasining birinchi devor sovutish tizimini (masalan, iter) bo'shlig'ini bo'shatish vakuumi.
Oy chang chang simulyal palatasining muhrlanishi namunaviy kanal.
5. Ishlash ko'rsatkichlari
Harorat doirasi: -196 darajasi (suyuq azot sovutish) 450 daraja (yuqori harorat pishirish turi).
DNametri diapazonlari: DN10 mikro klavi
Amaliyot rejimi: Qo'lda qurt tishli haydovchi, pnevmatik tez ochilish (javob berish vaqti)<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6. Texnik ish joylari
Geliy massasi har 1000 ta operatsiyadan keyin har 1000 ta operatsiyadan so'ng talab qilinadi va oqish stavkasi standartdan oshsa, quyiung yig'ilishi o'rnini egallashi kerak.
Qurilishni qoplash uchun har 5 yilda har 5 yil davomida kontakt muhrlash sirtini qayta boqish kerak.
Orteton va boshqa organik moddalardan tozalash uchun foydalanish taqiqlanadi. Plazma quruq tozalash tavsiya etiladi.